Компактный лазер с ультрафиолетовым «штопором» 193 нм: китайские учёные объединили нанолитографию, защиту данных и манипуляцию наночастицами в одной системе

Компактный лазер с ультрафиолетовым «штопором» 193 нм: китайские учёные объединили нанолитографию, защиту данных и манипуляцию наночастицами в одной системе

Глубокий ультрафиолет (DUV) с длиной волны 193 нм — золотой стандарт в производстве микропроцессоров. Этот свет позволяет «вырезать» на кремниевых пластинах элементы размером в несколько нанометров, формируя основу современных электронных устройств. Однако традиционные источники такого излучения — громоздкие газовые лазеры — ограничивают миниатюризацию и энергоэффективность установок. Прорыв совершили исследователи из Китайской академии наук: они создали первый компактный твердотельный лазер, генерирующий не только 193-нм излучение, но и вихревой пучок, способный совершить революцию в нанолитографии и квантовых технологиях. Иллюстрация: Prof. Hongwen Xuan (Chinese Academy of Sciences) Новая система работает на частоте 6 тысяч импульсов в секунду. Её сердце — усиливающий элемент из кристалла Yb:YAG, выращенного в лаборатории. Исходный инфракрасный лазер (1030 нм) разделяется на два пучка. Первый проходит через систему кристаллов, преобразующих его в ультрафиолетовый луч 258 нм мощностью 1,2 Вт. Второй проходит через оптический преобразователь, генерируя излучение 1553 нм (700 мВт). Оба пучка сводятся в каскаде кристаллов LBO (триборат лития), где за счёт нелинейных эффектов рождается целевое излучение 193 нм. Результат — 70 мВт мощности при ширине спектральной линии менее 880 МГц, что критически важно для чёткого травления микросхем. Главная инновация — превращение луча в «световой штопор». Учёные добавили в систему...
22.03.2025
Сообщает: Источник  
Рубрика: «Наука и Техника»   Поделиться: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

Китайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографииКитайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографии Китайские учёные построили компактную твердотельную лазерную систему, которая генерирует когерентный свет с длиной волны 193 нм. Это изобретение обещ ...

Свет на грани: как учёные трансформировали лазер в твёрдое телоСвет на грани: как учёные трансформировали лазер в твёрдое тело Традиционно мы знаем только четыре состояния материи: твердое, жидкое, газообразное и плазменное. Но в квантовом мире всё не так просто: материалы мо ...

Китайские астрономы исследовали аномальную вспышку чёрной дыры в системе SLX 1746331Китайские астрономы исследовали аномальную вспышку чёрной дыры в системе SLX 1746–331 Группа китайских астрономов под руководством Цзин-Цяна Пэна из Китайской академии наук (CAS) провела детальный анализ спектральных и временных характ ...

Мессенджер MAX обеспечит защиту персональных данных школьниковМессенджер MAX обеспечит защиту персональных данных школьников Национальный мессенджер MAX обеспечит защиту персональных данных детей. Об этом заявил министр просвещения РФ Сергей Кравцов на XII общероссийском ро ...

Apple отключила расширенную защиту данных для британских пользователейApple отключила расширенную защиту данных для британских пользователей Компания Apple пошла на беспрецедентный шаг, отключив функцию «Расширенной защиты данных» в iCloud для британских пользователей, сообщает BBC. Этому ...

Axiom Space и Red Hat развернут компактный дата-центр на МКС для обработки данных в реальном времениAxiom Space и Red Hat развернут компактный дата-центр на МКС для обработки данных в реальном времени Компания Axiom Space готовится отправить на МКС компактный вычислительный модуль, оснащённый платформой Red Hat Device Edge. Устройство под названием ...

VK WorkSpace обновила Почту и Календарь, усилила катастрофоустойчивость и защиту данныхVK WorkSpace обновила «Почту» и «Календарь», усилила катастрофоустойчивость и защиту данных VK Tech представила обновленную версию платформы VK WorkSpace. для размещения в контуре компании. В релизе 25.2 — расширенные... ...

Аквариус и Баррикады обеспечили сертифицированную защиту данных в виртуальной среде«Аквариус» и «Баррикады» обеспечили сертифицированную защиту данных в виртуальной среде Группа компаний «Аквариус» и ИЦ «Баррикады» объявили о полной совместимости серверов Aquarius на новом поколении... ...